FT：中芯正測試首款國產DUV光刻機

【有線新聞】據報中芯正測試首款國產先進晶片生產設備。

英國金融時報引述消息指，中芯正測試由上海初創公司宇量昇生產的深紫外線DUV光刻機機器採用的技術，類似荷蘭光刻機公司ASML採用的技術。雖然早期測試結果良好，但尚不清楚會否和何時用於大規模晶片製造。市場認為一旦成功測試，有助減低中國對海外晶片製作設備及技術依賴。